紫外臭氧清洗機的安裝步驟說明
紫外臭氧清洗機是數字控制的臺式清洗設備，可以提供4×4英寸至12×16英寸的清洗尺寸。設備配備一個帶反射罩的高強度UV格柵燈盤，和可調節高度的樣品臺，用于優化樣品位置和清洗效果。4英寸或者更大尺寸的系統具有進出氣接口。該系統由一個方便的預設置控制器控制，非常容易操作。該產品是研究級的紫外臭氧清洗系統，具有靈活性，能滿足有機分子去除和其他眾多的應用。可以直接在空氣中操作，或是通過其中一個進氣口通入氧氣來增加臭氧產生。可編程數字控制器可以控制系統進程，來確保時間和優化清洗參數。
紫外臭氧清洗機主要是利用離子作純物理的撞擊，把材料表面的原子或附著材料表面的原子打掉，由于離子在壓力較低時的平均自由基較輕長，有得能量的累積，因而在物理撞擊時，離子的能量越高，越是有的作撞擊，所以若要以物理反應為主時，就必須控制較的壓力下來進行反應，這樣清洗效果較好，為了進一步說明各種設備清洗的效果。
紫外臭氧清洗機的機理主要是依靠等中活性粒子的“活化作用”達到去除物體表面污漬的目的。就反應機理來看，清洗通常包括以下過程：無機氣體被激發為等離子態；氣相物質被吸附在固體表面；被吸附基團與固體表面分子反應生成產物分子；產物分子解析形成氣相；反應殘余物脫離表面。
初始安裝時，紫外臭氧清洗機應遵循下列步驟：
準備工作：找到合適的位置放好儀器主機，打開真空泵包裝，灌裝好真空油（通過觀察窗觀察到真空油到觀察窗的三分之二的位置即可），改裝真空泵電源線（更換隨機的電源接頭）。
一、連接好紫外臭氧清洗機與真空泵之間的真空管路，緊固好O型卡和鎖緊帽，做到連接處密封且不漏氣。
二、接通供電電源和真空泵電源，在此之前檢查按鈕必須處于復位狀態，同時檢查所供電源插座的L、N、E的接線是否與機箱后的AC220V輸入插頭相一致，以免發生危險動作。
三、開機前，先取出托載盤（專指不銹鋼內置倉體機，而對于外置石英玻璃倉體則絕不允許撤出托載盤），旋好倉門，此時會聽到倉門限位開關發出動作聲音，此音響表明允許后續的處理操作能正常進行。
四、按下Power開關，開關上指示燈亮；按下真空泵Standby按鈕，啟動真空泵，緊接按下Pump按鈕，進入抽真空狀態。
五、開機抽真空時間應持續15分鐘以上且不做其他操作，目的是去潮除濕，同時檢查紫外臭氧清洗機是否有漏氣部位。
